1、会制绒+(BSG+碱抛)+PSG+去绕镀2、每班点检硼扩,PE-poly,退火,LP-poly,磷扩,石英舟清洗机工艺参数
2、跟踪处理出现SPC异常且暂时无法彻底解决的问题,并做好统计,寻找规律,力求发现问题点。
要求:
1、会硼扩+(PoIy+退火)+(LPCVD+磷扩)
2、每班点检制绒、去BSG、碱抛、去PSG、RCA、返工机工艺参数.
3、按要求完成相应的实验任务,在实验过程中收集数据并整理